白光干涉儀定義：入射光為寬帶光的干涉儀。

白光干涉儀用在低相干性的干涉中，采用白光光源，具有很寬的帶寬。光源不一定需要在可見光譜區(qū)域。

光源的時(shí)間相干性很低，空間相干性很高。將燈泡發(fā)出的光射入單模光纖中就可以同時(shí)得到很高的空間相干性和很寬的帶寬，但是這樣得到的功率較低。

采用超輻射光源，例如超發(fā)光二極管就可以使光的亮度提高好幾個(gè)數(shù)量級。有時(shí)還可以采用可調(diào)諧激光器。

白光干涉儀的探測器可以是光電探測器，在時(shí)間域上采集信號，也可以采用光譜儀。

激光干涉儀定義：以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。

激光干涉儀具有高強(qiáng)度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，并可作為精密工具機(jī)或測量儀器的校正工作。

另外白光干涉儀和激光干涉儀的應(yīng)用領(lǐng)域區(qū)別：

白光干涉儀是用來測量三維微觀形貌的。激光干涉儀是用來檢測設(shè)備的運(yùn)動(dòng)精度的

bruker白光干涉儀推薦型號:ContourX-200、ContourX-500、GT-X，bruker白光干涉儀產(chǎn)品特點(diǎn)：

·易于使用的界面

·快速準(zhǔn)確地獲得結(jié)果

·自動(dòng)化功能用于日常測量和分析

·*泛的濾鏡和分析工具選項(xiàng)，用于粗糙度和關(guān)鍵尺寸測量分析