賽默飛X射線衍射儀是一種實驗室中常用的分析儀器，廣泛應(yīng)用于材料分析、結(jié)構(gòu)研究等領(lǐng)域。使用時進(jìn)行實驗需要注意實驗條件的選擇、樣品制備的方法、實驗操作的技巧以及對數(shù)據(jù)的處理和分析。只有掌握了正確的方法和技巧，才能得到準(zhǔn)確可靠的實驗結(jié)果。
 

　　賽默飛X射線衍射儀的使用方法：
 

　　首先，要選擇適當(dāng)?shù)膶嶒灄l件。X射線衍射實驗需要使用高能的X射線，因此必須在具有較高真空度的環(huán)境下進(jìn)行。同時，還需要根據(jù)待測材料的性質(zhì)和要求選擇合適的X射線源和檢測器。常用的X射線源有銅管和鎢管，檢測器則有NaI晶體和矽探測器等。
 

　　其次，要進(jìn)行樣品制備。樣品制備的方法取決于待測材料的性質(zhì)和要求。一般情況下，針對粉末樣品，需要將其研磨為顆粒較小的粉末，并進(jìn)行均勻的壓制，以保證實驗結(jié)果的精確性。
 

　　接著，進(jìn)行實驗操作。其使用方法較為簡單。在進(jìn)行實驗之前，需要使用標(biāo)準(zhǔn)品進(jìn)行校準(zhǔn)，以保證實驗數(shù)據(jù)的可靠性。隨后，將樣品放置在樣品架上，并使其與X射線束垂直，調(diào)節(jié)檢測器的位置和角度，選擇合適的檢測器與X射線衍射儀連接。
 

　　最后，進(jìn)行數(shù)據(jù)處理和分析。在進(jìn)行實驗之后，需要對所得的衍射圖樣進(jìn)行解讀和分析。從衍射圖樣中可以得到材料的晶體結(jié)構(gòu)、晶胞參數(shù)和晶格畸變等信息。此外，還可以通過對衍射峰的強(qiáng)度和位置的分析，獲得材料的晶體形貌、晶體尺寸和相對結(jié)晶度等信息。
 

　　——X射線測量滿足您的研發(fā)需求
 

　　Jordan Valley 的 Delta-X 是用于材料研究、工藝開發(fā)和質(zhì)量控制的新一代柔性 X 射線衍射儀器。 該系統(tǒng)具有全自動源和檢測器光學(xué)元件以及水平樣品安裝，可以在*計算機(jī)/配方控制下在標(biāo)準(zhǔn)和高分辨率 X 射線衍射和 X 射線反射率模式之間切換，而無需手動更改配置。 這可確保每次使用佳工具配置，而無需專家設(shè)置工具以供使用。
 

• 樣品的自動校準(zhǔn)、測量和分析
 

　　• 測量的自動化程度由用戶定義
 

　　• 使用 300 毫米歐拉支架實現(xiàn)高精度樣品定位和掃描
 

　　• 全300mm 晶圓水平貼裝和映射
 

　　• 由于 100° 傾斜 (Chi) 和無限方位角旋轉(zhuǎn) (Phi)，可以進(jìn)行極點圖和殘余應(yīng)力測量
 

　　• 根據(jù)請求的測量進(jìn)行智能自動工具對齊和重新配置
 

　　• 行業(yè)領(lǐng)-先的設(shè)備控制和分析軟件
 

　　• 使用高分辨率測角儀進(jìn)行準(zhǔn)確和精確的測量
 

　　• 高強(qiáng)度光源和光學(xué)元件可實現(xiàn)快速測量
 

　　• 可用的技術(shù)和參數(shù)范圍廣泛
 

　　• 由擁有 30 多年經(jīng)驗和龐大的全球安裝基礎(chǔ)的高分辨率 X 射線衍射領(lǐng)域的專家打造
 

　　自動源和檢測器階段
 

　　• 光源光學(xué)器件的開發(fā)考慮到了易用性和最佳性能。 所有系統(tǒng)均標(biāo)配平行光束多層反射鏡，可提供適用于 XRR 和 XRD 測量的高強(qiáng)度光束。
 

　　• 為了啟用HRXRD，可以安裝一系列晶體光學(xué)器件，以涵蓋從8" (Ge 004) 到 >40" (Ge 111) 的分辨率。 可根據(jù)要求提供定制晶體。
 

　　• 它們會自動切換進(jìn)出光束路徑，以便能夠在同一自動測量批次中覆蓋適用于不同基板類型和不同技術(shù)的光束配置。 與其他系統(tǒng)不同，無需手動從系統(tǒng)中移除鏡子或晶體，以確保它們不會損壞或錯位。
 

　　高分辨衍射儀 & X 射線反射率
 

高分辨率 XRD 是第一原理測量，可以確定外延層的厚度、成分、松弛、應(yīng)變、摻雜劑水平和誤切
 

　　•直接測量多層結(jié)構(gòu)內(nèi)層的松弛/應(yīng)變/組成
 

　　•在需要時將三軸分析儀晶體自動插入和對齊到光束中
 

　　•自動樣品校準(zhǔn)、測量、分析和報告
 

　　•倒數(shù)空間圖在幾分鐘內(nèi)完成并使用PeakSplit 進(jìn)行分析
 

　　•可以使用模擬雙軸和三軸衍射掃描
 

　　• JV-RADS分析軟件
 

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　　X 射線反射率 (XRR) 是第一原理測量，可以確定薄膜的厚度、密度和粗糙度
 

　　•第一原理，無損測量
 

　　• XRR 對材料質(zhì)量不敏感，因此層可以是非晶、多晶或外延層
 

　　•金屬、氮化物、氧化物、有機(jī)物、聚合物……
 

　　•自動樣品校準(zhǔn)、測量、分析和報告
 

　　•厚度范圍從 1nm 到 1µm，取決于吸收
 

　　分析軟件
 

　　JV-DX 系統(tǒng)上使用的分析軟件套件以 30 年的 X 射線表征和薄膜計量經(jīng)驗為基礎(chǔ)。 基于在 Bede Scientific 的分析軟件套件中，JV-DX 分析包包括行業(yè)領(lǐng)-先的高分辨率 X 射線衍射 (HRXRD)、X 射線反射率 (XRR) 和 XRD 軟件模擬軟件。
 

　　bruker布魯克 JV-DX X射線衍射儀 XRD規(guī)格