簡要描述:Diener 等離子去膠機(jī) Tetra16專用軟件支持自動/手動操作模式可切換(自動模式下可儲存多套工藝程序),支持操作權(quán)限分級設(shè)定
產(chǎn)品目錄
品牌 | Diener | 價格區(qū)間 | 面議 |
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,石油,電子 |
外形尺寸 | W600xD850xH1700mm | 電源 | AC400V / 16A |
發(fā)生器 | 2.45GHz 0-600W/0-1200W |
· Diener 等離子去膠機(jī) Tetra16便捷的觸摸屏操作界面
· 專用軟件支持自動/手動操作模式可切換(自動模式下可儲存多套工藝程序),支持操作權(quán)限分級設(shè)定
· 數(shù)字及圖形化工藝參數(shù)控制及實時顯示
· 支持6"/8"/12" wafer的去膠清洗
· 安全及異常報警功能
· Diener 等離子去膠機(jī) Tetra16多語言:法語、英語,德語,中文
用途:
· 去除光刻膠
· 干刻或濕刻處理前或后
· SU-8或其他環(huán)氧基樹脂
· MEMS制造中去除犧牲層
·去除光刻膠,SU-8,環(huán)氧樹脂
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